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Inficon Q-pod Thin Film Deposition Monitor manuels

Manuels d'utilisation et guides de l'utilisateur pour Équipement Inficon Q-pod Thin Film Deposition Monitor.
Nous fournissons des manuels en pdf 1 Inficon Q-pod Thin Film Deposition Monitor à télécharger gratuitement par type de document : Manuel d'utilisateur


Inficon Q-pod Thin Film Deposition Monitor Manuel d'utilisateur (72 pages)


marque: Inficon | Catégorie: Équipement | Taille: 2.21 MB |

 

Table des matières

Quartz Crystal Monitor

1

Trademarks

4

Disclaimer

4

Copyright

4

Warranty

7

Table Of Contents

9

TOC - 2

10

Chapter 3

10

Communications

10

Chapter 4

10

TOC - 3

11

Q-pod Operating Manual

11

TOC - 4

12

1.1 Introduction

13

1.1.1 Related Manuals

14

1.2 Instrument Safety

14

1.3 How to Contact INFICON

16

1.3.1 Returning Your Q-pod

16

1.4 Specifications

16

1.5 Unpacking and Inspection

17

1.6.1 Base Configuration

17

1.6.2 Sensors

17

Q-pod Operating Manual

18

2.1 Install Software

19

2.2 Connect the Q-pod

19

2.3 Using the Q-pod Software

20

2.3.1 Main Display

20

2.3.2 Setup Display

21

2.3.3 Graph Display

22

3.1 Introduction

23

3.2 ASCII Command Set

23

3.3 QPOD.DLL

24

3.3.1 Registering QPOD.DLL

24

3.3.2 Functions

25

3.5 Sample Programs

26

4.1 Troubleshooting Guide

29

4.1.1 Status LED

29

4.2 Replacing the Crystal

36

4.2.1 Front Load

37

4.2.2 Cool Drawer

38

IPN 074-547-P1B

39

4.2.3 Bakeable Sensor

40

4.2.4 Sputtering Sensor

41

4.2.5 Crystal Snatcher

42

4.3 Crystal Sensor Emulator

43

IPN 760-601-G2

43

4.3.1 Diagnostic Procedures

44

4 - 17

45

4 - 19

47

4 - 20

48

4 - 21

49

4 - 22

50

5.2 Determining Density

51

5.3 Determining Tooling

52

Chapter 6

55

Measurement and Theory

55

6.1.1 Monitor Crystals

56

Frequency (in MHz)

57

6.1.3 Z-match Technique

59

6.1.4 Active Oscillator

60

A.1 Introduction

63

PRELIMINARY 5/4/12

64

PRELIMINARY 5/4/12 A - 3

65

PRELIMINARY 5/4/12 A - 5

67

PRELIMINARY 5/4/12 A - 7

69

PRELIMINARY 5/4/12 A - 9

71




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